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Chris Mack
实时观点流 · 盯人瀑布🔬 光刻物理派

Chris Mack 在 X 说什么、押什么

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118已盯发声更新 2026-06-26
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AASML 多年SPIE日记的价值在时间戳,Mack的判断能被后续路线图和量产事实回测。 06-26

多年SPIE日记的价值在时间戳,Mack的判断能被后续路线图和量产事实回测。

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KKLAC PROLITH经历让他把路线图拆成剂量、对比度、胶化学、显影和噪声。 06-26

PROLITH经历让他把路线图拆成剂量、对比度、胶化学、显影和噪声。

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CCOHR 光子器件常要求亚纳米LER,特征尺寸虽大,量测精度却比逻辑节点更苛刻。 06-26

光子器件常要求亚纳米LER,特征尺寸虽大,量测精度却比逻辑节点更苛刻。

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KKLAC SEM电压对比可观察电荷随时间耗散,为栅漏电等电性问题提供新入口。 02-27

SEM电压对比可观察电荷随时间耗散,为栅漏电等电性问题提供新入口。

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KKLAC 电压对比SEM把量测从图像扩展到电性行为,可用于观察栅漏电等问题。 02-28

电压对比SEM把量测从图像扩展到电性行为,可用于观察栅漏电等问题。

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KKLAC AI在量测里有价值,但必须绑定物理边界和训练分布,不能替代工艺理解。 02-29

AI在量测里有价值,但必须绑定物理边界和训练分布,不能替代工艺理解。

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AASML EUV单层EPE受掩膜地形、像差、杂散光和焦点影响,NILS损失需逐项预算。 03-02

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LLRCX 干式工艺是EUV随机性候选解法,但需用LCDU、缺陷和蚀刻后结果证明。 03-04

干式工艺是EUV随机性候选解法,但需用LCDU、缺陷和蚀刻后结果证明。

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KKLAC Mack把随机粗糙度从论文问题推向软件产品,说明量测瓶颈正在商业化。 03-01

Mack把随机粗糙度从论文问题推向软件产品,说明量测瓶颈正在商业化。

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💬观点 他认为先进半导体与光子器件中,随机变异已占图形化误差的50%以上。

他认为先进半导体与光子器件中,随机变异已占图形化误差的50%以上。

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